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美國MKS INSTRUMENTS電源
美國MKS INSTRUMENTS電源、測(cè)量、控制和復(fù)雜氣體相關(guān)的工藝監(jiān)控技術(shù)等改進(jìn)了設(shè)備的完好率和產(chǎn)品成品率，提高了生產(chǎn)產(chǎn)量和產(chǎn)品性能，美國MKS INSTRUMENTS目前產(chǎn)品主要包括：壓力測(cè)量和控制系列的電容薄膜壓力傳感器、模擬和數(shù)字壓力控制儀器和閥等提供半導(dǎo)體工藝上、下游壓力控制設(shè)備；質(zhì)量流量控制器測(cè)量和控制半導(dǎo)體工藝中各種高純度、高精度氣體流量；射頻、直流及脈沖等離子電源、匹配器及測(cè)試工具為半導(dǎo)體工業(yè)提供了可靠的固態(tài)電源；STEXI系列產(chǎn)品提供諸如用于工藝腔清潔的ASTRON氟離子發(fā)生器，用于去膠工藝的R*EVOLUTION等離子源，用于CVD、ALD和清洗的SEMOZON氣態(tài)和LIQUOZON液態(tài)臭氧發(fā)生器。
代表型號(hào)：621,622A,623A,627B,629B,722A,722B,631C,628,690A,626A,626B,722A,722B,901,912,910,M10B,AX7690,AX3060,AX7610,AX2500,AX2600,AX7670,AX7680,
代表型號(hào)：621,622A,623A,627B,629B,722A,722B,631C,628,690A,626A,626B,722A,722B,901,912,910,M10B,AX7690,AX3060,AX7610,AX2500,AX2600,AX7670,AX7680,
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