美國Sinton 少子壽命測量儀
BCT-400測量系統(tǒng)不需要做表面鈍化就能直接測量單晶和多晶硅（錠或塊）的少子壽命.
是基于渦流傳感器和紅外光致光電導方法直接測量單晶或者多晶硅棒體少子壽命的設(shè)備，具有瞬態(tài)和準穩(wěn)態(tài)兩種測量模式。該設(shè)備可探測3mm 深度范圍少子壽命，并能輸出不同載流子注入水平下的少子壽命值，可實現(xiàn)低電阻率硅單晶少子壽命測量，并能通過軟件端光強偏置實現(xiàn)單晶缺陷密度計算。
 
Sinton BLS-I少子壽命測量儀
BLS-I測量系統(tǒng)用于硅、鍺單晶的少數(shù)載流子壽命測量，除需要有一個測量平面外，對樣塊 體形無嚴格要求，可測塊狀和片狀單晶壽命。壽命測量可靈敏地反映單晶體 內(nèi)重金屬雜質(zhì)污染及缺陷存在的情況，是單晶質(zhì)量的重要檢測項目。